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一种电化学机械复合抛光不锈钢衬底的设备

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201821864755.6
  • IPC分类号:H01L21/67;H01L31/18
  • 申请日期:
    2018-11-13
  • 申请人:
    浙江师范大学
著录项信息
专利名称一种电化学机械复合抛光不锈钢衬底的设备
申请号CN201821864755.6申请日期2018-11-13
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人浙江师范大学申请人地址
浙江省金华市婺城区迎宾大道688号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人浙江师范大学当前权利人浙江师范大学
发明人张克华;庄千洋;李春茂;马佳航;朱苗苗
代理机构北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙)代理人李冉
摘要
本实用新型公开了一种电化学机械复合抛光不锈钢衬底的设备,包括复合阴极刀具、绝缘板和电解池,复合阴极刀具底端伸入电解池的电解液内;复合阴极刀具底端设置有不锈钢衬底,绝缘板安装在电解池内,并置于不锈钢衬底底端;电解池外接有电解电源,电解电源的正极与不锈钢衬底电连,电解电源的负极与复合阴极刀具电连。本实用新型提高了不锈钢衬底的抛光效率和精度,从而提高了太阳能电池对光的吸收率。

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