加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

具有中间图像的反射折射投影物镜

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200580023994.8
  • IPC分类号:G02B17/08;G03F7/20
  • 申请日期:
    2005-05-13
  • 申请人:
    卡尔蔡司SMT股份公司
著录项信息
专利名称具有中间图像的反射折射投影物镜
申请号CN200580023994.8申请日期2005-05-13
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2007-06-20公开/公告号CN1985206
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B17/08IPC分类号G;0;2;B;1;7;/;0;8;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人卡尔蔡司SMT股份公司申请人地址
德国上科亨 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人卡尔蔡司SMT有限责任公司当前权利人卡尔蔡司SMT有限责任公司
发明人A·多多克;W·乌尔里希;A·埃普勒
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人龚海军;张志醒
摘要
一种反射折射投影物镜,用于将布置在投影物镜的物面上的图案成像在投影物镜的像面上,具有用于物场的成像以形成第一真实的中间图像的第一物镜部分,利用来自第一物镜部分的辐射产生第二真实的中间图像的第二物镜部分;以及将第二真实的中间图像成像在像面上的第三物镜部分。第二物镜部分是具有凹面镜的反射折射物镜部分。提供沿凹面镜的方向偏转来自物面的辐射的第一折叠式反射镜和沿像面的方向偏转来自凹面镜的辐射的第二折叠式反射镜。在接近于第一中间图像的场的区域中,具有正折射本能的场透镜布置在第一中间图像和/或第一折叠式反射镜和凹面镜之间。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供