一种闭环压电薄膜泵及流量控制方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201210050805.8
IPC分类号：F04B43/04;F04B49/06
申请日期：
2012-03-01
申请人：
苏州大学

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著录项信息

专利名称	一种闭环压电薄膜泵及流量控制方法
申请号	CN201210050805.8	申请日期	2012-03-01
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2012-07-04	公开/公告号	CN102536755A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F04B43/04 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F0 发动机或泵 F04 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵 F04B 液体变容式机械；泵（发动机燃料喷射泵入F02M；旋转活塞式或摆动活塞式液体机械或泵入F04C；非变容式泵入F04D；通过其他流体直接接触或利用被泵送流体的惯性的流体泵送入F04F；曲轴、十字头、连杆入F16C；飞轮入F16F；旋转运动和往复运动互相转换的一般传动装置入F16H；通用活塞、活塞杆、工作缸入F16J；离子泵入H01J 41/12；电动泵入H02K 44/02） F04B43/00 具有柔性工作元件的机械、泵，或泵送装置（专门适应于弹性流体的泵或泵送装置入F04B 45/00） F04B43/02 具有板状柔性件，例如隔膜（F04B 43/14优先）〔3〕 F04B43/04 具有电气驱动的泵	IPC分类号	F;0;4;B;4;3;/;0;4;;;F;0;4;B;4;9;/;0;6查看分类表>
申请人	苏州大学	申请人地址	江苏省苏州市相城区澄阳路116号阳澄湖国际科创园2号楼202室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州苏相机器人智能装备有限公司	当前权利人	苏州苏相机器人智能装备有限公司
发明人	潘明强;陈涛;刘吉柱;陈立国;汝长海;王蓬勃;贺文元
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	常亮;李辰

摘要

一种闭环压电薄膜泵，其包括压电振子、流量传感器、压电泵基体、电路控制模块、进液阀以及出液阀，所述流量传感器和压电泵基体通过MEMS工艺集成为一整体结构，所述流量传感器设有微通道及信号转换模块，所述流量传感器检测流体的体积并将检测结果转化成电信号后反馈给电路控制模块，所述电路控制模块根据反馈的流量信号和目标流量体积信号比较后控制压电振子的运动变形量。本发明实施例的闭环压电薄膜泵通过将流量传感器和压电泵基体集成为一整体，减小了泵的体积；并通过流量传感器与电路控制模块的协同工作，实现了流体的流量闭环控制，提高了驱动流体的精度，该闭环压电薄膜泵可加工性好，便于进行一致性批量制造。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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