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蒸发真空镀膜机用蒸发装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201921187138.1
  • IPC分类号:C23C14/26
  • 申请日期:
    2019-07-26
  • 申请人:
    青岛华磊真空镀膜有限公司
著录项信息
专利名称蒸发真空镀膜机用蒸发装置
申请号CN201921187138.1申请日期2019-07-26
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/26IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;2;6查看分类表>
申请人青岛华磊真空镀膜有限公司申请人地址
山东省青岛市即墨市北安办事处刘家后戈庄村 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人青岛华磊真空镀膜有限公司当前权利人青岛华磊真空镀膜有限公司
发明人傅志坚
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型公开了一种蒸发真空镀膜机用蒸发装置,其技术方案要点是包括支撑板、转轴、固定连接在支撑板底部的电机、固定连接在转轴顶部外周上的若干蒸发块、沿竖直方向贯穿蒸发块的蒸发孔、固定连接在蒸发块底部的电阻板、固定连接在电阻板底部的正极凸块、固定连接在电阻板底部的负极凸块、固定连接在支撑板顶部的正极柱、固定连接在支撑板顶部的负极柱、固定连接在支撑板顶部的竖板以及固定连接在竖板顶部的密封板,对其中一蒸发块的蒸发孔中的材料进行蒸发的时候,其他蒸发块的蒸发孔都会被密封板密封住,从而使得蒸发孔当中的材料不会产生污染,从而使得该材料蒸发后在零件表面形成的膜中不含有其他杂质,从而提高了膜的质量。

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