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一种实现固体片表面镓基液态金属铺展的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810646929.X
  • IPC分类号:C23C14/08;C23C14/35;C23C14/58
  • 申请日期:
    2018-06-22
  • 申请人:
    鲁东大学
著录项信息
专利名称一种实现固体片表面镓基液态金属铺展的方法
申请号CN201810646929.X申请日期2018-06-22
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2018-11-06公开/公告号CN108754422A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/08IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;0;8;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;5;8查看分类表>
申请人鲁东大学申请人地址
山东省烟台市山东烟台芝罘区世学路186号鲁东大学 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人鲁东大学当前权利人鲁东大学
发明人赵银女;闫金良;闫慧龙;李宏光
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明提供一种实现固体片表面镓基液态金属铺展的方法,属于电子器件散热技术领域。在不浸润的固体片表面沉积一层连续的Ga2O3薄膜,还原退火Ga2O3薄膜形成从里往外结构的Ga2O3层/Ga‑O混合层/金属Ga层的复合结构薄膜。将镓基液态金属滴在复合结构薄膜表面,镓基液态金属与金属Ga层之间完全润湿,液态金属铺展在固体片表面。本发明避免了固体片与液态金属之间的电导通,实现了镓基液态金属在固体片表面的浸润和铺展。

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