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固态成像装置,其制造方法和照相机

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200910253624.3
  • IPC分类号:H04N5/335;H04N5/225;H01L27/146;G03F7/00
  • 申请日期:
    2009-12-03
  • 申请人:
    索尼株式会社
著录项信息
专利名称固态成像装置,其制造方法和照相机
申请号CN200910253624.3申请日期2009-12-03
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2010-06-23公开/公告号CN101753862A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H04N5/335IPC分类号H;0;4;N;5;/;3;3;5;;;H;0;4;N;5;/;2;2;5;;;H;0;1;L;2;7;/;1;4;6;;;G;0;3;F;7;/;0;0查看分类表>
申请人索尼株式会社申请人地址
日本神奈川厚木市朝日町4-14-1 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人索尼半导体解决方案公司当前权利人索尼半导体解决方案公司
发明人荻野明子
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人李颖
摘要
一种制造固态成像装置的方法,包括下述步骤:在基板上形成的光电转换部分,所述光电转换部分在受光面上接收光并光电转换在受光面上接收的光,从而产生信号电荷;在受光面上形成把光引导到受光面的光波导;和在光波导上形成使光着色并使着色后的光射向光波导的滤色器,其中在形成滤色器时,通过对包含染料的光敏树脂膜进行曝光处理,随后进行显影处理,由光敏树脂膜形成滤色器,在形成光波导时,形成光波导的核心部分,以致核心部分吸收当进行曝光处理时照射在光敏树脂膜上的曝光光线。

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