一种固晶机的顶针装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201721730111.3
IPC分类号：H01L21/683;H01L21/687
申请日期：
2017-12-13
申请人：
苏州聚进顺自动化科技有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种固晶机的顶针装置
申请号	CN201721730111.3	申请日期	2017-12-13
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/683 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/683 用于支承或夹紧的（用于定位、定向或对准的入H01L 21/68）〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;8;3;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;7查看分类表>
申请人	苏州聚进顺自动化科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市高新区竹园路209号2号楼901 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州聚进顺自动化科技有限公司	当前权利人	苏州聚进顺自动化科技有限公司
发明人	汤志鹏;殷海涛
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种固晶机的顶针装置。具体包括顶针装置和驱动装置，所述顶针装置包括固定座，所述固定座内设置有可在固定座内上下移动的顶针，所述顶针通过驱动装置驱动其上下运动，所述固定座上设置通孔和顶针孔，所述通孔连接真空设备，所述顶针孔与顶针位置相对应；所述顶针包括依次相连的第一部分、第二部分和第三部分，所述第三部分外套设有导向轴承，所述第二部分直径大于导向轴承的内径。本实用新型的顶针装置结构简单，通过将顶针设置成依次相连的第一部分、第二部分和第三部分，通过导向轴承，防止顶针倾斜。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供