一种极紫外光学元件表面污染清洗装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201510963031.1
IPC分类号：B08B11/00;B08B7/00;B08B13/00
申请日期：
2015-12-21
申请人：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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著录项信息

专利名称	一种极紫外光学元件表面污染清洗装置及方法
申请号	CN201510963031.1	申请日期	2015-12-21
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-12-21	公开/公告号	CN106238427A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B11/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B11/00 专门适用于清洁柔韧的或精致的物品的方法或装置（B08B 3/12，B08B 6/00优先）〔2〕	IPC分类号	B;0;8;B;1;1;/;0;0;;;B;0;8;B;7;/;0;0;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0查看分类表>
申请人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	申请人地址	吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	当前权利人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人	邓文渊;金春水;姚舜;喻波;靳京城
代理机构	深圳市科进知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	郝明琴

摘要

本发明涉及极紫外光刻技术领域，具体公开一种极紫外光学元件表面清洗装置及清洗方法。本发明的极紫外光学元件表面污染清洗装置包括清洗腔体；设置于清洗腔体外两侧的进气口和出气口；设置于清洗腔体内的样品支撑调节台、紫外光发生装置、CO2浓度监控装置、O3浓度监控装置；还包括工作气体控制装置、控制电路以及控制终端。本发明清洗装置和清洗方法，能有效实现极紫外光学元件表面污染的彻底清洗，同时防止极紫外光学元件表面发生氧化，提高极紫外光学元件潜在的长期使用寿命；能够保证排出气体的安全性，降低清洗过程对实验室环境和实验人员安全健康的影响。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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