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成膜设备及成膜方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201780047282.2
  • IPC分类号:H01L31/18;C23C14/56
  • 申请日期:
    2017-08-02
  • 申请人:
    深圳市柔宇科技有限公司
著录项信息
专利名称成膜设备及成膜方法
申请号CN201780047282.2申请日期2017-08-02
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-04-02公开/公告号CN109564955A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;C;2;3;C;1;4;/;5;6查看分类表>
申请人深圳市柔宇科技有限公司申请人地址
广东省深圳市龙岗区横岗街道龙岗大道8288号大运软件小镇43栋 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳市柔宇科技有限公司当前权利人深圳市柔宇科技有限公司
发明人欧建兵
代理机构暂无代理人暂无
摘要
一种成膜设备(10),包括成膜室(11,21),成膜室(11,21)内设有至少两个材料源(121,122),至少两个材料源(121,122)用于依次在基板(100)上镀膜;其中,每两个相邻的材料源(121,122)之间具有安全工作距离(D),且当前一个材料源(121)在基板(100)上镀膜后,后一个材料源(122)在前一个材料源(121)所形成的膜层之上再次镀膜。一种成膜方法,用于在基板(100)上形成膜层。成膜设备及成膜方法能够缩短成膜工艺线,提升生产效率,并降低设备成本。

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