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自激式全固态射频电源

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810333581.9
  • IPC分类号:H03F1/52
  • 申请日期:
    2018-04-13
  • 申请人:
    中国科学院微电子研究所
著录项信息
专利名称自激式全固态射频电源
申请号CN201810333581.9申请日期2018-04-13
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-10-25公开/公告号CN110380695A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H03F1/52IPC分类号H;0;3;F;1;/;5;2查看分类表>
申请人中国科学院微电子研究所申请人地址
北京市朝阳区北土城西路3号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院微电子研究所当前权利人中国科学院微电子研究所
发明人李勇滔
代理机构北京华沛德权律师事务所代理人房德权
摘要
本发明公开了一种自激式全固态射频电源,包括射频信号发生器、射频功率放大电路、供电线路、控制器和精密功率检测器,精密功率检测器包括有相位比较电路,检测射频功率放大电路输出至负载的入射功率和反射功率;射频信号发生器将根据入射功率和反射功率来调整其输出功率信号的频率,以使得射频功率放大电路输出至负载的反射功率小于入射功率的1%,控制器根据入射功率和反射功率来调整供电线路施加至射频功率放大电路的电压。本发明能够实现高精度的射频功率检测,检测范围宽,精度一致性好,死区小,能够实时保护射频功率放大电路,避免损坏失效。

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