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晶圆倒装覆晶平台

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201821213128.6
  • IPC分类号:H01L21/67
  • 申请日期:
    2018-07-27
  • 申请人:
    广东阿达智能装备有限公司
著录项信息
专利名称晶圆倒装覆晶平台
申请号CN201821213128.6申请日期2018-07-27
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人广东阿达智能装备有限公司申请人地址
广东省佛山市南海区狮山镇南海软件科技园内佛高科技智库中心A座科研楼A605-2室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人广东阿达智能装备有限公司当前权利人广东阿达智能装备有限公司
发明人贺云波;王波;刘青山;刘凤玲;陈桪
代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司代理人李丹
摘要
本实用新型涉及一种晶圆倒装覆晶平台,包括底座、安装座和覆晶臂模块,安装座与底座滑动连接,安装座能够相对于底座在第一方向上滑动,覆晶臂模块与安装座滑动连接,覆晶臂模块能够相对于安装座在第二方向和第三方向上滑动,覆晶臂模块包括覆晶臂和旋转电机,旋转电机的主轴沿第一方向分布,覆晶臂的一端与旋转电机的主轴连接,覆晶臂能够在旋转电机的作用下绕主轴翻转。通过覆晶臂模块设置为能够做第一方向、第二方向和第三方向上的移动,使得覆晶臂模块能够实现空间上的移动,即能够与焊接平台协同完成两者之间相对相向运动的移动过程,从而减少每个倒装周期,提高效率。

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