一种半导体封装机械的运动平台

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200820094368.9
IPC分类号：H01L21/683;H01L21/68;H01L21/50;B23Q1/25
申请日期：
2008-06-02
申请人：
深圳市创唯星自动化设备有限公司

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著录项信息

专利名称	一种半导体封装机械的运动平台
申请号	CN200820094368.9	申请日期	2008-06-02
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/683 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/683 用于支承或夹紧的（用于定位、定向或对准的入H01L 21/68）〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;8;3;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;;;H;0;1;L;2;1;/;5;0;;;B;2;3;Q;1;/;2;5查看分类表>
申请人	深圳市创唯星自动化设备有限公司	申请人地址	广东省深圳市南山区高新技术产业园中区M-2栋4楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳市创唯星自动化设备有限公司	当前权利人	深圳市创唯星自动化设备有限公司
发明人	宋勇飞
代理机构	深圳市博锐专利事务所	代理人	孙鑫

摘要

本实用新型公开了一种半导体封装机械的运动平台，包括固定座，所述固定座上设有两个相垂直的音圈马达，每个音圈马达的可动子分别连接一滑动结构，两个滑动结构通过导轨与滑板连接，固定座上设有分别与两滑动结构相平行的光栅尺，滑动结构上设有可读取光栅尺数字的读数头。其动力装置为音圈马达，可提高运动平台运动速度，最高可达60G，G为重力加速度；用光栅尺配合运动平台构成定位系统，在不影响速度的情况下可达到高精度，最高可达0.1μm。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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