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一种制备多晶硅绒面的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200410064831.1
  • IPC分类号:H01L31/18;H01L21/306;C23F1/24
  • 申请日期:
    2004-09-30
  • 申请人:
    无锡尚德太阳能电力有限公司
著录项信息
专利名称一种制备多晶硅绒面的方法
申请号CN200410064831.1申请日期2004-09-30
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2005-05-11公开/公告号CN1614789
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;6;;;C;2;3;F;1;/;2;4查看分类表>
申请人无锡尚德太阳能电力有限公司申请人地址
江苏省无锡市新区长江南路75号地块旺庄工业园一区A-06号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人无锡尚德太阳能电力有限公司当前权利人无锡尚德太阳能电力有限公司
发明人季静佳;施正荣
代理机构北京金信立方知识产权代理有限公司代理人朱梅;徐志明
摘要
本发明属于制造多晶硅太阳能电池领域,涉及制备多晶硅片绒面技术。按照本发明所提供的设计方案,该多晶硅片绒面用酸腐蚀溶液制成,该酸腐蚀溶液是一种氧化剂和氢氟酸混合液,其中,氧化剂的浓度范围为0.01到0.5摩尔/升,氢氟酸的浓度范围为1到15摩尔/升,温度范围为5摄氏度到50摄氏度,酸腐蚀时间范围为5分钟到60分钟。相比传统的采用碱溶液(NaOH或KOH)清除损伤层的方法,经本发明的酸腐蚀溶液腐蚀后的多晶硅片不仅可以形成均匀的绒面,而且可以提高太阳能电池转化效率5%以上。若将本发明的绒面多晶硅太阳能电池层压成组件,可进一步提高转换效率3%。本发明所提供的方法具有成本低,易操作和适宜大规模生产等特点。

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