一种全碳化硅MEMS三轴加速度计及其制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201811616953.5
IPC分类号：G01P15/18;G01P15/12;B81B7/02;B81C1/00
申请日期：
2018-12-28
申请人：
西安交通大学

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专利名称	一种全碳化硅MEMS三轴加速度计及其制造方法
申请号	CN201811616953.5	申请日期	2018-12-28
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-03-08	公开/公告号	CN109444469A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01P15/18 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01P 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示（利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00；用于测量两个或多个运动变量的组合测量设备入G01C 23/00；声速测量入G01H 5/00；光速测量入G01J 7/00；通过无线电波或其他波的反射或再辐射，且基于传播效应（例如多普勒效应）、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T） G01P15/00 测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变 G01P15/18 在二维或更高维空间中〔7，2013.01〕	IPC分类号	G;0;1;P;1;5;/;1;8;;;G;0;1;P;1;5;/;1;2;;;B;8;1;B;7;/;0;2;;;B;8;1;C;1;/;0;0查看分类表>
申请人	西安交通大学	申请人地址	陕西省西安市碑林区咸宁西路28号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安交通大学	当前权利人	西安交通大学
发明人	方续东;吴晨;孙林;赵立波;赵玉龙;蒋庄德
代理机构	西安智大知识产权代理事务所	代理人	贺建斌

摘要

一种全碳化硅MEMS三轴加速度计及其制造方法，加速度计包括下部碳化硅基底层，下部碳化硅基底层通过中间连接层和上部碳化硅结构外框连接，上部碳化硅结构外框内部设有中心对称的中心四梁质量岛单元、四梁质量岛子结构构成五组阵列式四梁质量岛结构，中心四梁质量岛单元设置通过支撑梁与上部碳化硅结构外框连接，支撑梁的敏感压阻条与各自对应的金属引线连接，并构成半开环惠斯通电桥；中心四梁质量岛单元、四梁质量岛子结构与下部碳化硅基底层有间隙，制造方法是将制作有上部碳化硅结构外框结构的碳化硅片和另一作为下部碳化硅基底层的碳化硅片通过中间连接层连接，本发明加速度计具有体积小、结构简单、灵敏度高、耐高温恶劣环境等优点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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