控制硅片TDH的设备和方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110121145.7
IPC分类号：F26B15/14;F26B15/18;F26B21/00;F26B25/00;B65B35/44;B65B57/14;B65B57/18
申请日期：
2021-01-28
申请人：
西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	控制硅片TDH的设备和方法
申请号	CN202110121145.7	申请日期	2021-01-28
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-06-01	公开/公告号	CN112880369A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F26B15/14 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F2 照明；加热 F26 干燥 F26B 从固体材料或制品中消除液体的干燥（联合收割机的干燥装置入A01D 41/133；干燥果实或疏菜用的框架入A01F 25/12；干燥食品入A23；干燥头发入A45D 20/00；干燥身体的器具入A47K 10/00；干燥家庭物品入A47L；干燥气体或蒸汽入B01D；脱水或类似的从固体分离出液体的化学或物理方法入B01D 43/00；离心设备入B04；干燥陶瓷器入C04B 33/30；与其他处理方式结合的干燥纱线或纤维入D06C；没有加热或正向空气循环的洗衣用干燥框架，家用洗衣干燥机或旋转式脱水机，拧干或热压洗衣入D06F；炉、窑、烘烤炉入F27） F26B15/00 对具有渐进运动的制品进行干燥的机器或设备；对密集批料进行干燥的具有渐进运动的机器或设备（F26B 13/00，F26B 17/00优先；传送装置一般入B65G） F26B15/10 以一条或多条直线形成的路线移动的，例如复合路线 F26B15/12 路线均为水平或略有倾斜的 F26B15/14 用托盘或框架运送制品或批料的	IPC分类号	F;2;6;B;1;5;/;1;4;;;F;2;6;B;1;5;/;1;8;;;F;2;6;B;2;1;/;0;0;;;F;2;6;B;2;5;/;0;0;;;B;6;5;B;3;5;/;4;4;;;B;6;5;B;5;7;/;1;4;;;B;6;5;B;5;7;/;1;8查看分类表>
申请人	西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司	申请人地址	陕西省西安市高新区西沣南路1888号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安奕斯伟硅片技术有限公司,西安奕斯伟材料技术有限公司	当前权利人	西安奕斯伟硅片技术有限公司,西安奕斯伟材料技术有限公司
发明人	史进;郭盾
代理机构	北京远创理想知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	李蔚君

摘要

本发明公开了一种控制硅片TDH的设备和方法，所述控制硅片TDH的设备包括干燥箱和打包装置，所述干燥箱包括壳体、第一输送装置、干燥装置和第一湿度检测装置，所述壳体的两端设置有进料口和出料口，所述第一输送装置穿过所述壳体，所述第一输送装置的两端分别位于所述进料口和出料口处，所述第一输送装置上能够放置多个片盒，所述干燥装置沿着所述第一输送装置的输送方向设置，所述第一湿度检测装置能够检测所述出料口处的片盒的湿度，所述打包装置的进口连接所述出料口，所述打包装置能够打包所述出料口输出的所述片盒。本发明提供的控制硅片TDH的设备和方法能够有效减少硅片出现TDH现象。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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