一种单晶炉石墨加热装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201820984247.5
IPC分类号：C30B15/14;C30B29/06
申请日期：
2018-06-25
申请人：
江西中昱新材料科技有限公司

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专利名称	一种单晶炉石墨加热装置
申请号	CN201820984247.5	申请日期	2018-06-25
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B15/14 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B15/00 熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法（在保护流体下的入C30B 27/00）〔3〕 C30B15/14 熔融液或已结晶化材料的加热〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;1;5;/;1;4;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	江西中昱新材料科技有限公司	申请人地址	江西省上饶市上饶县经济开发区远泉大道16号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江西中昱新材料科技有限公司	当前权利人	江西中昱新材料科技有限公司
发明人	苏光都;杨小刚;徐文静;李航
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	罗满

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉石墨加热装置，包括多块相互拼接的条板组件及连接板，各条板组件长度方向相互平行并接，构成中空的圆筒状结构，用于容纳装有原料硅块的容器，连接板用于将相邻条板组件的端部安装定位；由条板组件构成的圆筒状结构上每间隔预设角度还设置有电极板结构。通过相互拼接条板组件代替原先一体式的加热器结构，通过连接板将相邻的条板组件安装固定，定型成圆筒状的结构，以实现炉内加热，多个相互连接组装的单元块构成加热器的整体的设计，在装置局部发生故障时仅需更换对应的条板组件即可完成装置更新故障排除，相应的在产品加工时仅选用合格的条板组件即可，避免由于局部的缺陷报废整个加热器，优化装置的维修性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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