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改进的光致抗蚀剂

发明专利无效专利

申请号：
CN03165028.7
IPC分类号：--
申请日期：
2003-09-29
申请人：
希普雷公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	改进的光致抗蚀剂
申请号	CN03165028.7	申请日期	2003-09-29
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2004-07-21	公开/公告号	CN1514302
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	希普雷公司	申请人地址	美国马萨诸塞变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	希普雷公司	当前权利人	希普雷公司
发明人	R·K·巴尔;E·安泽里斯;D·E·伦迪
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	龙传红

摘要

一种光致抗蚀剂，其包括一种亲水化合物，当对光化辐射曝光时，该亲水化合物产生一种自由基聚合引发剂，该亲水化合物可以被用作光致抗蚀剂中的粘合剂聚合物或交联剂。

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