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具有伪结构的半导体器件

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200310102359.1
  • IPC分类号:H01L23/52;H01L27/06
  • 申请日期:
    2003-10-27
  • 申请人:
    富士通株式会社
著录项信息
专利名称具有伪结构的半导体器件
申请号CN200310102359.1申请日期2003-10-27
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2004-05-26公开/公告号CN1499624
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L23/52IPC分类号H;0;1;L;2;3;/;5;2;;;H;0;1;L;2;7;/;0;6查看分类表>
申请人富士通株式会社申请人地址
日本神奈川县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人富士通株式会社,日本东京都,富士通半导体股份有限公司当前权利人富士通株式会社,日本东京都,富士通半导体股份有限公司
发明人南条亮太
代理机构北京东方亿思知识产权代理有限责任公司代理人杜娟;董方源
摘要
本发明提供了一种半导体器件,具有:具有界定了多个有源区的隔离区的半导体衬底;形成于各个有源区之上、构成半导体元件的栅电极;覆盖该栅电极的级间绝缘体;穿过所述级间绝缘体而形成并电连接到所述半导体元件上的局部互连;穿过所述级间绝缘体而形成并与所述局部互连电气上分隔的伪局部互连;和下级伪结构,每个所述下级伪结构都包括伪有源区、伪有源区和形成于其上的伪栅电极所构成的层叠的伪结构以及形成在所述隔离区上的伪栅电极中的一个,其中每一个所述伪局部互连都不连接到两个或更多下级伪结构上。

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