测量装置的控制方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200510004280.4
IPC分类号：G01B11/02;G01B21/02
申请日期：
2005-01-05
申请人：
株式会社扫佳

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	测量装置的控制方法
申请号	CN200510004280.4	申请日期	2005-01-05
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2006-03-15	公开/公告号	CN1746612
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先）	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;2;;;G;0;1;B;2;1;/;0;2查看分类表>
申请人	株式会社扫佳	申请人地址	日本神奈川县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	新东超精密有限公司	当前权利人	新东超精密有限公司
发明人	出口和宏
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	胡建新

摘要

本发明提供一种测量装置的控制方法，缩短同时测量多个测量对象时所需的测量时间。设定表示测量头(20、22)的移动目的地的测量点，基于设定的测量点的坐标，驱动Y轴驱动部(26)，使测量头(20、22)整体移动到测量点附近，之后，对由搭载在测量头(20、22)上的摄像机的摄像得到的图像进行处理，并根据其处理结果，使测量头(20、22)分别非同步地沿X轴用架(12)移动，并且，沿Y1S轴或Y2S轴进行微调，把各测量头(20、22)定位在测量点上，利用PC30对由搭载在测量头(20、22)上的摄像机拍摄得到的图像进行处理，对测量台(18)上的平面板(42)的图形的微小尺寸进行测量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供