硅片提拉装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201621461826.9
IPC分类号：C30B29/06;C30B15/00;C30B15/26
申请日期：
2016-12-29
申请人：
常州大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	硅片提拉装置
申请号	CN201621461826.9	申请日期	2016-12-29
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B29/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B29/00 以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料〔3，5〕 C30B29/02 元素〔3〕 C30B29/06 硅〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;9;/;0;6;;;C;3;0;B;1;5;/;0;0;;;C;3;0;B;1;5;/;2;6查看分类表>
申请人	常州大学	申请人地址	江苏省常州市滆湖路1号常州大学变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	常州大学	当前权利人	常州大学
发明人	丁建宁;袁宁一;张新伟;徐嘉玮
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型涉及一种硅片提拉装置，包括加热炉以及控制系统，加热炉内设置有钳锅，熔化区上方固定设置加热器，加热炉设置有进料管以及进气嘴，主区上方固定设置有换热器；籽晶棒与舱门外设置的提拉机构连接；加热炉上还设置有第一高温计和第二高温计。一种控制方法，a、向钳锅的溶化区中加入硅料，对熔化区内的硅料进行加热融化；b、籽晶进入腔体后，接触熔体，保持3‑5min，然后开启换热器，反转电机，使籽晶棒向外移动；当提拉机构触发限位开关后，提拉机构向上运动截断硅片。采用此方法获得的硅片由于结晶时不会被坩埚污染，所以杂质含量少，材料损耗预期减少50%。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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