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一种可移动刀口模块及可变狭缝系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010125465.5
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2020-02-27
  • 申请人:
    上海微电子装备(集团)股份有限公司
著录项信息
专利名称一种可移动刀口模块及可变狭缝系统
申请号CN202010125465.5申请日期2020-02-27
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-08-27公开/公告号CN113311666A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人上海微电子装备(集团)股份有限公司申请人地址
上海市浦东新区张东路1525号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司当前权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人熊学文;刘屈武
代理机构上海思捷知识产权代理有限公司代理人王宏婧
摘要
本发明提供了一种可移动刀口模块及可变狭缝系统,其应用于光刻工艺,所述可移动刀口模块包括第一定子单元、第一动子单元以及刀口组件,所述第一动子单元包括第一动子磁钢,所述刀口组件与所述第一动子磁钢连接;所述刀口组件被配置为,在所述第一定子单元和所述第一动子单元的驱动下,沿所述第一方向移动。如此配置,使得可移动刀口模块中运动线缆少,运动阻力小,动子质量轻,电机出力大,运动精度高,电机寿命长;装置结构紧凑,安装空间小,占用空间小,方便安装和拆卸;能够保证可变狭缝的运动与掩膜台的运动相匹配,保证曝光过程的顺利进行,实现了可变狭缝的高速和高加速运动。

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