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氢气回收系统及氢气的分离回收方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201680044982.1
  • IPC分类号:C01B3/56;B01J20/18;B01D53/78;B01D53/82;B01D53/96;B01J20/20;B01J20/34;C01B33/035;C01B39/44;B01D53/68;B01D53/72;B01D53/75
  • 申请日期:
    2016-08-02
  • 申请人:
    信越化学工业株式会社
著录项信息
专利名称氢气回收系统及氢气的分离回收方法
申请号CN201680044982.1申请日期2016-08-02
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-03-27公开/公告号CN107848796A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C01B3/56IPC分类号C;0;1;B;3;/;5;6;;;B;0;1;J;2;0;/;1;8;;;B;0;1;D;5;3;/;7;8;;;B;0;1;D;5;3;/;8;2;;;B;0;1;D;5;3;/;9;6;;;B;0;1;J;2;0;/;2;0;;;B;0;1;J;2;0;/;3;4;;;C;0;1;B;3;3;/;0;3;5;;;C;0;1;B;3;9;/;4;4;;;B;0;1;D;5;3;/;6;8;;;B;0;1;D;5;3;/;7;2;;;B;0;1;D;5;3;/;7;5查看分类表>
申请人信越化学工业株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人信越化学工业株式会社当前权利人信越化学工业株式会社
发明人石田昌彦;祢津茂义;齐藤弘;田中秀二
代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司代理人盛曼;金龙河
摘要
本发明的氢气回收系统由从来自多晶硅制造工序的含有氢的反应废气中冷凝分离氯硅烷类的冷凝分离装置(A)、对含有氢的反应废气进行压缩的压缩装置(B)、使含有氢的反应废气与吸收液接触而将氯化氢吸收分离的吸收装置(C)、由用于将含有氢的反应废气中包含的甲烷、氯化氢及氯硅烷类的一部分吸附除去的填充有活性炭的吸附塔构成的第一吸附装置(D)、由将含有氢的反应废气中包含的甲烷吸附除去的填充有合成沸石的吸附塔构成的第二吸附装置(E)和将使甲烷浓度降低后的纯化氢气回收的气体线路(F)构成。

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