分馏酚醛清漆树脂和由其得到的抗光蚀剂组合物

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专利名称	分馏酚醛清漆树脂和由其得到的抗光蚀剂组合物
申请号	CN97181411.2	申请日期	1997-12-16
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2000-02-16	公开/公告号	CN1244877
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	克拉里安特国际有限公司	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	AZ电子材料日本株式会社	当前权利人	AZ电子材料日本株式会社
发明人	M·D·拉曼;卢炳宏
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	陈季壮

摘要

本发明提供了一种通过在非高温蒸馏条件下分离出酚醛清漆树脂级分，制备具有一致分子量和在抗光蚀剂组合物中优异性能的可成膜的、分级酚醛清漆树脂的方法。还提供了一种由该分级酚醛清漆树脂制备抗光蚀剂组合物的方法、以及一种使用该抗光蚀剂组合物制造半导体设备的方法。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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