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薄膜晶体管阵列面板

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710337796.3
  • IPC分类号:H01L27/12;H01L29/786
  • 申请日期:
    2017-05-15
  • 申请人:
    三星显示有限公司
著录项信息
专利名称薄膜晶体管阵列面板
申请号CN201710337796.3申请日期2017-05-15
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2018-01-05公开/公告号CN107546231A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L27/12IPC分类号H;0;1;L;2;7;/;1;2;;;H;0;1;L;2;9;/;7;8;6查看分类表>
申请人三星显示有限公司申请人地址
韩国京畿道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人三星显示有限公司当前权利人三星显示有限公司
发明人林志勋;朴晙晳
代理机构北京德琦知识产权代理有限公司代理人严芬;康泉
摘要
根据本发明示例性实施例的薄膜晶体管阵列面板包括:基底;在基底上的栅电极;在栅电极上的栅极绝缘层;包括与栅电极重叠的沟道区、以及彼此相对的源区和漏区的半导体构件,栅极绝缘层插入沟道区与栅电极之间,沟道区插入源区与漏区之间;在半导体构件上的层间绝缘层;在层间绝缘层上的数据导体;以及在数据导体上的钝化层,其中层间绝缘层具有在沟道区上的第一孔。

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