一种基于马赫曾德干涉仪的大带宽温度不敏感的传感器

发明专利有效专利

申请号：
CN202110512377.5
IPC分类号：G01D5/353;G02B6/12
申请日期：
2021-05-11
申请人：
浙江大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种基于马赫曾德干涉仪的大带宽温度不敏感的传感器
申请号	CN202110512377.5	申请日期	2021-05-11
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-07-16	公开/公告号	CN113124913A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01D5/353 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01D 非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试 G01D5/00 用于传递传感构件的输出的机械装置；将传感构件的输出变换成不同变量的装置，其中传感构件的形式和特性不限制变换装置；非专用于特定变量的变换器（G01D 3/00优先；专门适用于给出除变量的瞬时值以外的结果的仪表入G01D 1/00）〔6〕 G01D5/26 采用光学装置，即应用红外光、可见光或紫外光 G01D5/32 利用光束的减弱或者全部或局部的闭塞（G01D 5/40优先） G01D5/34 利用光电元件检测光束 G01D5/353 影响光纤的传输特性〔6〕	IPC分类号	G;0;1;D;5;/;3;5;3;;;G;0;2;B;6;/;1;2查看分类表>
申请人	浙江大学	申请人地址	浙江省杭州市西湖区浙大路38号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江大学	当前权利人	浙江大学
发明人	时尧成;丁佐芹
代理机构	杭州君度专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	朱月芬

摘要

本发明公开了一种基于马赫曾德干涉仪的大带宽温度不敏感的传感器；光源信号通过输入光波导输入，经过3dB功分器将功率等分到两条非对称的马赫曾德干涉臂，所述两臂由长度不同的第一宽条形波导、窄条形波导、slot波导以及长度相同的第二宽条形波导组成，不同波导结构之间通过锥形波导连接，光场从两臂经过这些波导结构后相位被调制，而后通过合束器进行干涉至输出光波导。本发明采用三种结构的波导对马赫曾德干涉仪两臂的光场相位进行调制，结合slot波导的高灵敏度特性及平面光波导的集成化优势，实现大带宽范围内的温度不敏感、高折射率灵敏度、自由光谱范围可调、高集成度、低成本的光传感器。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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