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基于双CCD的自动对焦显微镜及测量方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710174216.3
  • IPC分类号:G02B21/24
  • 申请日期:
    2017-03-22
  • 申请人:
    上海理工大学
著录项信息
专利名称基于双CCD的自动对焦显微镜及测量方法
申请号CN201710174216.3申请日期2017-03-22
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-06-13公开/公告号CN106842534A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B21/24IPC分类号G;0;2;B;2;1;/;2;4查看分类表>
申请人上海理工大学申请人地址
上海市杨浦区军工路516号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海理工大学当前权利人上海理工大学
发明人江旻珊;汪泓;朱静远;张学典;常敏
代理机构上海申汇专利代理有限公司代理人吴宝根;王晶
摘要
本发明涉及一种基于双CCD的自动对焦显微镜及测量方法,该显微镜的光路部分由激光光源、物镜、分光镜BS1、分光镜BS2组成,激光光束通过狭缝进入光筒中,由分光镜BS1反射向下经物镜到达样品平面,样品反射光束经原路返回到分光镜BS1透过向上到达分光镜BS2后分成二路,一路透过向上被CCD2接收,另一路反射后经反射镜折返向上被CCD1接收;电路部分由CCD1、CCD2、计算机、控制箱和步进电机构成,两个CCD前后错开放置,分别接收完整光束信号,且具有重叠接收区域,CCD接收光信号后由光电转换器转换成电信号,并传输到计算机,计算机将指令信号发送到控制箱,控制箱控制步进电机带动光路部分上下移动寻找最佳对焦位置。

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