一种薄膜铌酸锂电光调制器及制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110888815.8
IPC分类号：G02F1/03
申请日期：
2021-08-04
申请人：
江苏铌奥光电科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种薄膜铌酸锂电光调制器及制备方法
申请号	CN202110888815.8	申请日期	2021-08-04
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-31	公开/公告号	CN113325612A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02F1/03 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02F 用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器〔2，4〕 G02F1/00 控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学〔2，4〕 G02F1/01 对强度、相位、偏振或颜色的控制（G02F 1/29、G02F 1/35优先）〔2，7〕 G02F1/03 基于陶瓷或电—光晶体的，例如，显示泡克耳斯（Pockels）或科尔（Kerr）效应的（G02F 1/061优先）〔2，4，7〕	IPC分类号	G;0;2;F;1;/;0;3查看分类表>
申请人	江苏铌奥光电科技有限公司	申请人地址	江苏省南京市鼓楼区福建路洪庙一巷5号红五月科创产业园1栋102 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏铌奥光电科技有限公司	当前权利人	江苏铌奥光电科技有限公司
发明人	胡紫阳;陈力锋;蔡文杰
代理机构	南京苏高专利商标事务所（普通合伙）	代理人	柏尚春

摘要

本发明公开了一种薄膜铌酸锂电光调制器及制备方法，薄膜铌酸锂电光调制器包括从下到上布置的硅衬底、埋氧层和铌酸锂层，铌酸锂层上表面刻蚀形成薄膜铌酸锂光波导；薄膜铌酸锂光波导包括马赫曾德尔结构；在马赫曾德尔结构每条光波导臂两侧分别设置行波信号电极和行波接地电极，在行波信号电极和行波接地电极之间设置用于对光波导臂内的光信号调制的电容负载型T结构电极；马赫曾德尔结构每条光波导臂两侧和下方设置有用于降低微波信号有效折射率的镂空隔离结构。该种电光调制器在硅基衬底下实现了超低驱动电压，超低微波损耗，超大电光带宽的薄膜铌酸锂电光调制器，便于未来在光通信，光传感，光集成等领域实现超高速，超低能耗的电光调制。

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