一种纳米薄膜复合应变传感器及其制备方法与应用

发明专利有效专利

申请号：
CN202211239996.2
IPC分类号：C23C14/35;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/14;C23C14/46;G01D21/02;G01B7/16;G01L5/00
申请日期：
2022-10-11
申请人：
松诺盟科技有限公司

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专利名称	一种纳米薄膜复合应变传感器及其制备方法与应用
申请号	CN202211239996.2	申请日期	2022-10-11
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2022-11-11	公开/公告号	CN115323337A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/35 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕 C23C14/35 利用磁场的，例如磁控溅射〔5〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;0;2;;;C;2;3;C;1;4;/;0;8;;;C;2;3;C;1;4;/;1;4;;;C;2;3;C;1;4;/;4;6;;;G;0;1;D;2;1;/;0;2;;;G;0;1;B;7;/;1;6;;;G;0;1;L;5;/;0;0查看分类表>
申请人	松诺盟科技有限公司	申请人地址	湖南省长沙市浏阳经济技术开发区湘台路18号长沙E中心A5栋3、4层01、02号房变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	松诺盟科技有限公司	当前权利人	松诺盟科技有限公司
发明人	雷卫武;徐承义;徐建;刘素夫;曾朋辉
代理机构	湖南正则奇美专利代理事务所（普通合伙）	代理人	肖琦

摘要

本发明公开了一种纳米薄膜复合应变传感器及其制备方法与应用，涉及传感器技术领域；该传感器包括基底层，所述基底层表面设有过渡层；所述过渡层的表面设有绝缘层；所述绝缘层的部分表面设有应变层；所述绝缘层的剩余部分表面设有保护层；所述应变层的部分表面设有焊盘；所述应变层的剩余部分表面设有保护层。本发明中应变层由NiCrMnSi层和NiCrAlY层组成，其中NiCrMnSi层的致密程度高、表面缺陷少且与绝缘层的结合强度高，从而提升了应变层的测试精度；而NiCrAlY层中含有金属铝，金属铝在氧气存在的情况下会生成氧化铝，而氧化铝能够起到一定的抗氧化作用，有利于提升应变敏感层的抗氧化性能。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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