一种SRAF图像的生成方法、系统及其电子装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201910133912.9
IPC分类号：G06T11/00;G06F30/392
申请日期：
2019-02-22
申请人：
深圳晶源信息技术有限公司

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著录项信息

专利名称	一种SRAF图像的生成方法、系统及其电子装置
申请号	CN201910133912.9	申请日期	2019-02-22
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-09-01	公开/公告号	CN111612862A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G06T11/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G06 计算；推算；计数 G06T 一般的图像数据处理或产生〔6，2006.01〕 G06T11/00 2D［二维］图像的生成〔6〕	IPC分类号	G;0;6;T;1;1;/;0;0;;;G;0;6;F;3;0;/;3;9;2查看分类表>
申请人	深圳晶源信息技术有限公司	申请人地址	广东省深圳市福田区福保街道红棉道英达利科技数码园C座301F 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳晶源信息技术有限公司	当前权利人	深圳晶源信息技术有限公司
发明人	黄晔;丁明
代理机构	深圳市智享知识产权代理有限公司	代理人	王琴;蒋慧

摘要

本发明涉及半导体制造的光刻领域，特别涉及一种SRAF图像的生成方法、系统及其电子装置。所述SRAF图像生成方法包括：分析待处理版图中各边的对称性信息，基于具有对称性的边进行分组；根据预设的SRAF点范围划定规则，确定归属于每组边的SRAF点生成范围；设定SRAF点之间的间隔距离，以间隔距离生成SRAF点，并标记其所属的父边及对应SRAF点的标签；保留仅有父边的SRAF点；针对具有邻近边的SRAF点，则比较对应SRAF点到父边和到邻近边的距离，保留到父边距离小于等于到邻近边距离的SRAF点；及结合SRAF点及SRAF图像生成算法生成SRAF图像。通过SRAF图像的生成方法、系统及其电子装置可有效解决现有方法生成的SRAF图像不能维持版图对称性的问题。

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