一种用于激光干涉仪测量导轨直线度的光学系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201610323294.0
IPC分类号：G01B11/27;G01B9/02
申请日期：
2016-05-13
申请人：
深圳市中图仪器科技有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种用于激光干涉仪测量导轨直线度的光学系统
申请号	CN201610323294.0	申请日期	2016-05-13
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-08-10	公开/公告号	CN105841638A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/27 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/26 用于计量角度或锥度；用于检测轴线准直 G01B11/27 用于检测轴线准直	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;7;;;G;0;1;B;9;/;0;2查看分类表>
申请人	深圳市中图仪器科技有限公司	申请人地址	广东省深圳市南山区西丽学苑大道1001号智园B1栋二层变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳市中图仪器股份有限公司	当前权利人	深圳市中图仪器股份有限公司
发明人	刘龙为;张和君;张珂;陈源
代理机构	深圳市科吉华烽知识产权事务所（普通合伙）	代理人	温玉珍

摘要

本发明提供一种用于激光干涉仪测量导轨直线度的光学系统，包括：探测光学组件、光学转向镜、可旋转激光头和外光路组件，光束通过所述探测光学组件实现双通道的光学探测，所述光学转向镜用于实现光束的下移和转向以适应所述探测光学组件的探测需求，所述可旋转激光头为设置于所述探测光学组件和外光路组件之间的可旋转回光部件，所述外光路组件用于测量所述光学系统的外光路。本发明通过三维光学转向镜大大简化了垂直方向直线度测量的设置和步骤，所述探测光学组件实现双通道的光学探测，简化了光学系统的光学元件，最大化的利用了光学元件，节约仪器设计的空间；同时，所述可旋转激光头的激光回光孔设计得更为合理，充分利用了现有的孔位。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供