一种真空传感器及真空计

发明专利有效专利

申请号：
CN202110737875.X
IPC分类号：G01L21/00
申请日期：
2021-06-30
申请人：
苏州容启传感器科技有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种真空传感器及真空计
申请号	CN202110737875.X	申请日期	2021-06-30
法律状态	公开	申报国家	暂无
公开/公告日	2021-10-26	公开/公告号	CN113551834A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L21/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L21/00 真空计	IPC分类号	G;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	苏州容启传感器科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区02幢510室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州容启传感器科技有限公司	当前权利人	苏州容启传感器科技有限公司
发明人	王媛;孙宏霖
代理机构	北京知迪知识产权代理有限公司	代理人	王胜利

摘要

本发明公开了一种真空传感器及真空计，涉及真空压力测量技术领域，用于拓展真空传感器的真空度测量量程，使得真空传感器可以用于测量更高气压下的真空度，扩宽真空传感器在更高气压下的应用范围。所述真空传感器包括：基底和悬置结构。基底上开设有凹槽。悬置结构设置在凹槽的上方。悬置结构包括悬置热板和至少两个悬臂梁。悬置热板通过至少两个悬臂梁与基底连接。每个悬臂梁均具有支撑部、以及设置在支撑部上的加热部。加热部的材质的热膨胀系数不同于支撑部的材质的热膨胀系数。加热部用于在真空传感器处于工作状态时加热相应悬臂梁，以缩短真空传感器所具有的换热间距。所述真空传感器应用于真空计中。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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