一种气动直线驱动的芯片拾取与翻转装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201110045760.0
IPC分类号：H01L21/00;B65G49/07;B65G47/91;H01L21/683
申请日期：
2011-02-25
申请人：
华中科技大学

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著录项信息

专利名称	一种气动直线驱动的芯片拾取与翻转装置
申请号	CN201110045760.0	申请日期	2011-02-25
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2011-09-07	公开/公告号	CN102173345A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;B;6;5;G;4;9;/;0;7;;;B;6;5;G;4;7;/;9;1;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人	华中科技大学	申请人地址	湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	华中科技大学	当前权利人	华中科技大学
发明人	尹周平;陈建魁;熊有伦;黄永安
代理机构	华中科技大学专利中心	代理人	李智

摘要

本发明提供了一种气动直线驱动的芯片拾取翻转装置，主要包括旋转驱动组件、翻转臂组件、直线驱动组件、芯片吸取组件和传感器组件，在旋转驱动组件的驱动下翻转臂组件带动芯片吸取组件翻转实现对芯片的翻转，直线驱动组件驱使吸取组件的吸嘴靠近或远离芯片实现对芯片的安全吸取，传感器组件检测吸取组件的翻转角度以供外部控制系统。旋转驱动组件采用伺服电机与减速器的配合方式，保证较高的翻转精度；直线驱动组件采用气动驱动方式调节吸嘴与芯片间的距离以保证两者间的安全间隙。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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