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一种超声喷雾热解镀膜装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201520257987.5
  • IPC分类号:C23C18/12
  • 申请日期:
    2015-04-27
  • 申请人:
    重庆文理学院
著录项信息
专利名称一种超声喷雾热解镀膜装置
申请号CN201520257987.5申请日期2015-04-27
法律状态放弃专利权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C18/12IPC分类号C;2;3;C;1;8;/;1;2查看分类表>
申请人重庆文理学院申请人地址
重庆市永川区红河大道319号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人重庆文理学院当前权利人重庆文理学院
发明人程江;李璐;闫雪莲;杨鑫;胡荣;张晟熙
代理机构重庆弘旭专利代理有限责任公司代理人熊雄
摘要
本实用新型公开了一种超声喷雾热解镀膜装置,包括气柜(1)、超声雾化装置、喷雾头、和带基片(2)的加热台(3),其特征是:所述气柜(1)通过进气管(4)与超声雾化装置连通,所述超声雾化装置通过管道(5)与喷雾头连通,所述喷雾头位于加热台(3)方且与加热台(3)相对应,在所述加热台(3)下方设置有XY移动平台(13),在所述超声雾化装置外设置有冷却装置。本实用新型具有结构设计巧妙、操作方便、成本低廉的优点,采用它不但能够长时间进行大面积薄膜的制备,使薄膜的产品面积和厚度得到控制,而且还解决了镀膜过程中滴水问题的产生,提高了薄膜产品的成品率及品质。

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