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用于涂覆固体涂层的方法和装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201180033905.3
  • IPC分类号:C23C14/28
  • 申请日期:
    2011-05-19
  • 申请人:
    马克斯普朗克科学促进协会
著录项信息
专利名称用于涂覆固体涂层的方法和装置
申请号CN201180033905.3申请日期2011-05-19
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2013-03-20公开/公告号CN102985586A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/28IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;2;8查看分类表>
申请人马克斯普朗克科学促进协会申请人地址
德国慕尼黑 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人马克斯普朗克科学促进协会当前权利人马克斯普朗克科学促进协会
发明人迪特尔·费舍尔;马丁·扬森;舍曼·F·德拉富恩特莱斯
代理机构上海智信专利代理有限公司代理人薛琦;朱水平
摘要
本发明公开了一种通过至少一辐射源(2),特别是一激光辐射源在一待涂覆物体(12)上涂覆固体涂层(14)的方法,该方法包括至少一移除步骤:通过该辐射源(2)发射的至少一发射光束(8),将处于固态的一样品(4)的至少多个局部不同的部分(6)移除,以使至少部分该样品(4)转化成气体状态(10)以至少部分沉积于该待涂覆物体(12)上形成一固体涂层(14);在移除过程中改变该发射光束(8)的一光路的取向,同时移动样品(4)。

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