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真空设备

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200480023891.7
  • IPC分类号:F25B9/14
  • 申请日期:
    2004-07-14
  • 申请人:
    莱博尔德真空技术有限责任公司
著录项信息
专利名称真空设备
申请号CN200480023891.7申请日期2004-07-14
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2006-09-27公开/公告号CN1839285
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F25B9/14IPC分类号F;2;5;B;9;/;1;4查看分类表>
申请人莱博尔德真空技术有限责任公司申请人地址
德国科隆 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人莱博尔德真空技术有限责任公司当前权利人莱博尔德真空技术有限责任公司
发明人D·施勒;E·施奈克;H·迪茨
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人张兆东
摘要
本发明涉及一种真空设备,它具有多个冷冻泵(10),尤其是多个并联设置的冷冻泵。另外设有至少一个压缩机装置(16),它经由一些介质供应管道(12)与冷冻泵(10)连接。一个介质回流管道(14)同样与压缩机装置(16)和冷冻泵(10)连接。在介质供应管道(12)和介质回流管道(14)之间设置一个用于介质的储存容器(20)。另外在介质供应管道(12)中设置一个压力测量装置(30)。压力测量装置经由一个控制装置(32)与一个供应阀(26)连接。为了使在冷冻泵(10)上的压力差几乎保持恒定,在介质供应管道(12)中的压力超过一个极限值时,供应阀(26)开启,使得介质流入到储存容器(20)内。

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