一种激光三差动共焦theta成像检测方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201210107951.X
IPC分类号：G01B11/00;G01B11/02;G01B11/24;G01B11/30
申请日期：
2012-04-13
申请人：
北京理工大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种激光三差动共焦theta成像检测方法
申请号	CN201210107951.X	申请日期	2012-04-13
法律状态	撤回	申报国家	暂无
公开/公告日	2012-08-15	公开/公告号	CN102636118A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;0;;;G;0;1;B;1;1;/;0;2;;;G;0;1;B;1;1;/;2;4;;;G;0;1;B;1;1;/;3;0查看分类表>
申请人	北京理工大学	申请人地址	北京市海淀区中关村南大街5号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京理工大学	当前权利人	北京理工大学
发明人	赵维谦;邱丽荣;刘超
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明属于表面微细结构测量技术领域，涉及一种激光三差动共焦theta成像检测方法。该方法采用共焦theta显微术的光路布置对被测样品进行扫描测量，将物镜的光瞳面分割为照明光瞳和收集光瞳，入射光束透过照明光瞳后被物镜会聚到被测表面，载有被测样品信息的反射光经过收集光瞳后，被聚光镜会聚于探测面上，在探测焦面上设置三个区域，测得这三个区域的响应并得出探测器响应特性方程，依据曲线在线性区间内的强度大小，或强度为零的位置，重构出被测样品的表面形貌和微观尺度。该方法结构简单，可有效兼顾分辨能力与量程范围，实现物体表面形貌和三维微细结构等的光学高分辨绝对测量。

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