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一种硅片自动化学腐蚀机的控制系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201310058264.8
IPC分类号：B25J9/18
申请日期：
2013-02-25
申请人：
天津市环欧半导体材料技术有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种硅片自动化学腐蚀机的控制系统
申请号	CN201310058264.8	申请日期	2013-02-25
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2013-06-12	公开/公告号	CN103144112A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B25J9/18 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B25 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手 B25J 机械手；装有操纵装置的容器（单独采摘水果、蔬菜、啤酒花或类似作物的自动装置入A01D 46/30；外科用的针头操纵器入A61B 17/062；与滚轧机有关的机械手入B21B 39/20；与锻压机有关的机械手入B21J 13/10；夹持轮子或其部件的装置入B60B 30/00；起重机入B66C；用于核反应堆中所用的燃料或其他材料的处理设备入G21C 19/00；机械手与加有防辐射的小室或房间的组合结构入G21F 7/06）〔5〕 B25J9/00 程序控制机械手 B25J9/16 程序控制（全面生产控制，即集中控制多台机器入G05B 19/418）〔4〕 B25J9/18 电的〔4〕	IPC分类号	B;2;5;J;9;/;1;8查看分类表>
申请人	天津市环欧半导体材料技术有限公司	申请人地址	江苏省无锡市宜兴经济技术开发区东氿大道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中环领先半导体材料有限公司,天津中环领先材料技术有限公司	当前权利人	中环领先半导体材料有限公司,天津中环领先材料技术有限公司
发明人	靳立辉;王国瑞;于书瀚;张基龙
代理机构	天津滨海科纬知识产权代理有限公司	代理人	李莉华

摘要

本发明提供一种硅片自动化学腐蚀机的控制系统，包括机械手，其特征在于：还包括伺服电机、伺服电机驱动器、伺服驱动模块和PLC控制器，所述PLC控制器连接所述伺服驱动模块，所述伺服驱动模块还所述伺服电机驱动器相连，所述伺服电机驱动器与所述伺服电机相连，所述伺服电机与所述机械手相连。本发明的有益效果是能够精确的定位，提高化腐机所加工产品的质量，提高合格率。

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