一种新型节能半导体石墨热场

发明专利有效专利

申请号：
CN202010685918.X
IPC分类号：C30B15/14
申请日期：
2020-07-16
申请人：
大同新成新材料股份有限公司

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专利名称	一种新型节能半导体石墨热场
申请号	CN202010685918.X	申请日期	2020-07-16
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2020-11-13	公开/公告号	CN111926383A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B15/14 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B15/00 熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法（在保护流体下的入C30B 27/00）〔3〕 C30B15/14 熔融液或已结晶化材料的加热〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;1;5;/;1;4查看分类表>
申请人	大同新成新材料股份有限公司	申请人地址	山西省大同市新荣区花园屯村变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	大同新成新材料股份有限公司	当前权利人	大同新成新材料股份有限公司
发明人	武建军;张培林;柴利春;张作文;王志辉
代理机构	太原荣信德知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	杨凯;连慧敏

摘要

本发明公开了一种新型节能半导体石墨热场，包括外壳，所述外壳内部底部的中间位置设置有电动升降杆，所述电动升降杆的顶部设置有底座，所述底座的顶部设置有坩埚，所述坩埚的外侧设置有多组吸热片，所述外壳内侧的中间位置处设置有保温筒，所述保温筒的内侧设置有石墨软毡保温层，所述外壳内部一端两侧的中间位置对称设置有加热管，所述外壳一侧底部的中间位置设置有抽气泵，所述抽气泵的输入端设置有通气管，且通气管的一侧延伸至外壳的内部；本发明装置石墨毡保温层具有良好的保温作用，能够耐高温，是单晶炉内主要的保温结构，然而石墨毡本身在高温条件下容易发生氧化，且易碎。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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