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化学气相沉积设备的反应腔室

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201210019424.3
  • IPC分类号:C23C16/455
  • 申请日期:
    2012-01-21
  • 申请人:
    光达光电设备科技(嘉兴)有限公司
著录项信息
专利名称化学气相沉积设备的反应腔室
申请号CN201210019424.3申请日期2012-01-21
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2013-05-01公开/公告号CN103074602A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/455IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;5查看分类表>
申请人光达光电设备科技(嘉兴)有限公司申请人地址
浙江省嘉兴市海盐县盐北路211号科创园西区1号楼3楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人光达光电设备科技(嘉兴)有限公司当前权利人光达光电设备科技(嘉兴)有限公司
发明人梁秉文
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)代理人郑玮
摘要
本发明实施例提供一种化学气相沉积设备的反应腔室,包括:基座,所述基座用于放置衬底;至少两个喷淋头,与基座相对设置,所述喷淋头用于向所述衬底提供反应气体,每个喷淋头下方至少可以放置一个衬底。本发明解决了反应腔室中的大尺寸的喷淋头难以加工、大尺寸喷淋头的成本偏高的问题,并且与反应腔室内设置单一的喷淋头相比,本发明在反应腔室内设置两个以上喷淋头,能够改善衬底上的反应气体的分布的均匀度,提高了形成的外延层的均匀度。

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