一种带切割道的软结构纳米压印模具

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201922329343.3
IPC分类号：G03F7/00
申请日期：
2019-12-23
申请人：
杭州欧光芯科技有限公司

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专利名称	一种带切割道的软结构纳米压印模具
申请号	CN201922329343.3	申请日期	2019-12-23
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0查看分类表>
申请人	杭州欧光芯科技有限公司	申请人地址	浙江省杭州市大江东产业集聚区义蓬街道青六中路888号义蓬科创园1101室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	杭州欧光芯科技有限公司	当前权利人	杭州欧光芯科技有限公司
发明人	张琬皎;刘寅;张颖
代理机构	杭州求是专利事务所有限公司	代理人	林超

摘要

本实用新型公开了一种带切割道的软结构纳米压印模具。包括基板；包括切割道遮光层，切割道遮光层布置于基板上表面；包括微纳结构层，微纳结构层设置于基板下表面，微纳结构层为覆盖在基板下表面的带有微纳凹凸表面的材料层；微纳结构层的凹凸形状与所需制作的微纳产品的凸凹形状相反。本实用新型可使在纳米压印晶圆上，在设计好的切割道区域内没有压印胶残余层直接露出基底材料，这样避免了由于压印胶残余层给后续切割工艺带来的困难，大大提高良率和产品质量，降低切割时间和成本。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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