处理室表面移除金属污染物

发明专利有效专利

申请号：
CN201980065594.5
IPC分类号：C21C5/44;C21C5/46
申请日期：
2019-10-03
申请人：
朗姆研究公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	处理室表面移除金属污染物
申请号	CN201980065594.5	申请日期	2019-10-03
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-05-25	公开/公告号	CN112840039A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C21C5/44 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C21 铁的冶金 C21C 生铁的加工处理，例如精炼、熟铁或钢的冶炼；熔融态下铁类合金的处理 C21C5/00 碳钢的冶炼，例如普通低碳钢，中碳钢，或铸钢 C21C5/28 转炉炼钢 C21C5/42 转炉构造 C21C5/44 耐火炉衬	IPC分类号	C;2;1;C;5;/;4;4;;;C;2;1;C;5;/;4;6查看分类表>
申请人	朗姆研究公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	朗姆研究公司	当前权利人	朗姆研究公司
发明人	游正义;萨曼莎·西亚姆华·坦;徐相俊;袁格;西瓦·克里希南·卡纳卡萨巴帕蒂
代理机构	上海胜康律师事务所	代理人	樊英如;张静

摘要

一种用于清洁衬底处理室的表面的方法包含：a)供应第一气体，所述第一气体选自由下列各项所组成的群组：四氯化硅(SiCl4)、四氯化碳(CCl4)、碳氢化合物(CxHy，其中x与y为整数)和分子氯(Cl2)、三氯化硼(BCl3)、以及亚硫酰氯(SOCl2)；b)在所述衬底处理室中激励等离子体，以蚀刻所述衬底处理室的表面；c)将所述等离子体熄灭，并将所述衬底处理室排空；d)供应包含氟物质的第二气体；e)在所述衬底处理室中激励等离子体，以蚀刻所述衬底处理室的表面；以及f)将该等离子体熄灭，并将所述衬底处理室排空。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供