一种基于光波导的盘式谐振陀螺仪及其加工封装方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201910278354.5
IPC分类号：G01C19/5684
申请日期：
2019-04-09
申请人：
东南大学

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专利名称	一种基于光波导的盘式谐振陀螺仪及其加工封装方法
申请号	CN201910278354.5	申请日期	2019-04-09
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-07-05	公开/公告号	CN109974681A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01C19/5684 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01C 测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学（液体水平面的测量入G01F；无线电导航，通过利用无线电波的传播效应，例如多普勒效应，传播时间来测定距离或速度，利用其他波的类似装置入G01S） G01C19/00 陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率〔1，2013.01〕 G01C19/56 使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器〔1，2012.01〕 G01C19/567 利用振动节点或波腹的相位移动〔2012.01〕 G01C19/5677 本质上的二维振动器，如环形振动器〔2012.01〕 G01C19/5684 包含微机械结构的设备〔2012.01〕	IPC分类号	G;0;1;C;1;9;/;5;6;8;4查看分类表>
申请人	东南大学	申请人地址	江苏省南京市江宁区东南大学路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东南大学	当前权利人	东南大学
发明人	夏敦柱;宫旭亮;李锦辉;黄泠潮
代理机构	南京苏高专利商标事务所（普通合伙）	代理人	徐红梅

摘要

本发明公开了一种基于光波导的盘式谐振陀螺仪及其加工封装方法，陀螺仪包括键合连接的SOI结构和玻璃盖帽，SOI结构自上而下分别是硅器件层、二氧化硅绝缘层和硅衬底层；硅器件层的中心区域为圆形锚点，圆形锚点外围同心设有圆环凹槽结构，圆环凹槽结构外围均匀分布有光学结构，每个光学结构外面设有相应的电极焊盘；硅衬底层内打有若干背部通孔；二氧化硅绝缘层设有圆环形凹槽使得圆环凹槽和背部通孔联通；玻璃盖帽的腔体设在玻璃盖帽背面中间区域，玻璃盖帽上与纳米光栅相对位置设有底部不打通的光栅圆孔，与电极焊盘相对位置设有底部完全打通的电极圆孔。本发明尺寸小、密封性良好、灵敏度高，能实现高精度的光学检测。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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