一种凝胶注模制备IGZO旋转靶材的制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110787060.2
IPC分类号：C04B35/01;C04B35/453;C04B35/622;C04B35/624;C23C14/08;C23C14/35
申请日期：
2021-07-13
申请人：
江苏迪丞光电材料有限公司

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著录项信息

专利名称	一种凝胶注模制备IGZO旋转靶材的制备方法
申请号	CN202110787060.2	申请日期	2021-07-13
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-09-07	公开/公告号	CN113354393A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C04B35/01 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C04 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕 C04B 石灰；氧化镁；矿渣；水泥；其组合物，例如：砂浆、混凝土或类似的建筑材料；人造石；陶瓷（微晶玻璃陶瓷入C03C 10/00）；耐火材料（难熔金属的合金入C22C）；天然石的处理〔4〕 C04B35/00 以成分为特征的陶瓷成型制品；陶瓷组合物（含有不用作宏观增强剂的，粘接在碳化物、金刚石、氧化物、硼化物、氮化物、硅化物上的游离金属，例如陶瓷或其他金属化合物，例如氧氮化合物或硫化物的入C22C）；准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末〔4〕 C04B35/01 以氧化物为基料的〔6〕	IPC分类号	C;0;4;B;3;5;/;0;1;;;C;0;4;B;3;5;/;4;5;3;;;C;0;4;B;3;5;/;6;2;2;;;C;0;4;B;3;5;/;6;2;4;;;C;2;3;C;1;4;/;0;8;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5查看分类表>
申请人	江苏迪丞光电材料有限公司	申请人地址	江苏省徐州市邳州市经济开发区沂蒙山路3号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏迪丞光电材料有限公司	当前权利人	江苏迪丞光电材料有限公司
发明人	孔伟华
代理机构	广州博士科创知识产权代理有限公司	代理人	宋佳

摘要

本发明提供一种凝胶注模制备IGZO旋转靶材的制备方法，包括以下步骤：1)、称取In2O3、Ga2O3、ZnO粉末配备成混合粉体，将去离子水、官能团单体、分散剂、引发剂以及催化剂，分别加入到混合装置内进行湿法球磨混合搅拌均匀形成浆料；2)、将浆料通过注塑机注入模具固化干燥得到IGZO靶材毛坯；3)、将干燥的IGZO靶材毛坯放置于脱脂炉内脱脂；4)、将脱脂后的IGZO靶材毛坯放置于高温烧结炉内烧结；5)、将烧结后的IGZO靶材毛坯进行机械加工；6)、将加工后的IGZO靶材毛坯通过邦定材料邦定在不锈钢管上，得到IGZO旋转靶材。本发明避免了现有技术中因粉浆浇注成型而导致IGZO靶材毛坯密度梯度不均匀易变形的缺陷，达到高效制备IGZO旋转靶材的目的。

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