一种粉体材料表面等离子体处理装置

发明专利无效专利

申请号：
CN201310607896.5
IPC分类号：H01J37/32
申请日期：
2013-11-27
申请人：
苏州市奥普斯等离子体科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种粉体材料表面等离子体处理装置
申请号	CN201310607896.5	申请日期	2013-11-27
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2014-02-19	公开/公告号	CN103594319A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	苏州市奥普斯等离子体科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市苏州高新技术产业开发区泰山路2号（博济科技园内）变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州市奥普斯等离子体科技有限公司	当前权利人	苏州市奥普斯等离子体科技有限公司
发明人	沈文凯;王红卫
代理机构	苏州华博知识产权代理有限公司	代理人	孟宏伟

摘要

本发明涉及一种粉体材料表面等离子体处理装置，包括反应腔、电极组件、电源和气体分布板，所述反应腔顶部设置有用于抽真空的抽气口，所述反应腔底部设置有用于通入反应气体的气体入口，所述反应腔内设置有反应腔室，所述电极组件和气体分布板设置于所述反应腔室内，所述电极组件设置于所述气体分布板上方，所述气体分布板上设置有若干用于反应气体进入的气孔，所述电极组件与所述电源电连接。本发明气体入口通入反应气体，反应气体从气体分布板的气孔进入反应腔室内并同时吹送粉体材料向上运动，电极组件通电形成高频电场将反应气体电离对粉体材料表面处理，避免了粉体材料堆积无法完全均匀的处理，处理效果好，提高工作效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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