掺杂Mn及Nb的PZT系压电膜形成用组合物

发明专利有效专利

申请号：
CN201580006889.7
IPC分类号：H01L41/318;C04B35/491;H01L41/187
申请日期：
2015-03-12
申请人：
三菱综合材料株式会社

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著录项信息

专利名称	掺杂Mn及Nb的PZT系压电膜形成用组合物
申请号	CN201580006889.7	申请日期	2015-03-12
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-09-14	公开/公告号	CN105940515A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L41/318 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L41/083 和H01L 41/087优先于H01L 41/09至H01L 41/113各组。〔6〕 H01L41/22 专门适用于组装、制造或处理压电或电致伸缩器件或其部件的方法或设备〔2，2013.01〕 H01L41/31 施加压电或电致伸缩部件或本体到一个电子元件或另一个基底上〔2013.01〕 H01L41/314 通过沉积压电或电致伸缩层，例如气溶胶或丝网印刷〔2013.01〕 H01L41/317 通过液相沉积〔2013.01〕 H01L41/318 通过溶胶-凝胶沉积〔2013.01〕	IPC分类号	H;0;1;L;4;1;/;3;1;8;;;C;0;4;B;3;5;/;4;9;1;;;H;0;1;L;4;1;/;1;8;7查看分类表>
申请人	三菱综合材料株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	三菱综合材料株式会社	当前权利人	三菱综合材料株式会社
发明人	土井利浩;樱井英章;曽山信幸
代理机构	北京德琦知识产权代理有限公司	代理人	康泉;王珍仙

摘要

本发明涉及一种用于形成PZT系压电膜的组合物，该PZT系压电膜由掺杂Mn及Nb的复合金属氧化物构成，所述组合物以如下比例包含PZT系前体：所述组合物中的金属原子比Pb:Mn:Nb:Zr:Ti满足(1.00～1.25):(0.002～0.056):(0.002～0.056):(0.40～0.60):(0.40～0.60)，且将所述Mn及Nb的金属原子比的合计设为1时的所述Mn的比例为0.20～0.80，将所述Zr及Ti的金属原子比的合计设为1时的所述Zr的比例为0.40～0.60，将所述Mn、Nb、Zr及Ti的金属原子比的合计设为1时的所述Zr及Ti的合计比例为0.9300～0.9902。

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