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半导体装置及其制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200510067474.9
  • IPC分类号:H01L23/48;H01L23/52;H01L21/60
  • 申请日期:
    2005-04-25
  • 申请人:
    三洋电机株式会社;关东三洋半导体股份有限公司
著录项信息
专利名称半导体装置及其制造方法
申请号CN200510067474.9申请日期2005-04-25
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2005-11-02公开/公告号CN1691318
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L23/48IPC分类号H;0;1;L;2;3;/;4;8;;;H;0;1;L;2;3;/;5;2;;;H;0;1;L;2;1;/;6;0查看分类表>
申请人三洋电机株式会社;关东三洋半导体股份有限公司申请人地址
日本大阪府 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人三洋电机株式会社,关东三洋半导体股份有限公司当前权利人三洋电机株式会社,关东三洋半导体股份有限公司
发明人落合公
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人李贵亮;杨梧
摘要
一种封装型半导体装置及其制造方法,可提高芯片尺寸封装型半导体装置及其制造方法的可靠性。准备形成有焊盘电极(11)的半导体衬底(10),并在半导体衬底(10)的表面形成由环氧树脂构成的第一保护层(20)。然后,形成自半导体衬底(10)的背面到达焊盘电极(11)的通孔(12)。然后,形成通过通孔(12)与焊盘电极(11)电连接且自通孔(12)延伸至半导体衬底(10)的背面的配线层(13)。然后,形成第二保护层(14)、导电端子(15),再通过切割将半导体衬底(10)分离为各个半导体芯片(10A)。

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