一种对位装置及对位平台

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201821409819.3
IPC分类号：H01L21/68
申请日期：
2018-08-29
申请人：
深圳市金海来自动化机械有限公司

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著录项信息

专利名称	一种对位装置及对位平台
申请号	CN201821409819.3	申请日期	2018-08-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/68 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/68 用于定位、定向或对准的〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;8查看分类表>
申请人	深圳市金海来自动化机械有限公司	申请人地址	广东省东莞市大朗镇求富路社区聚新二路52号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳市金海来自动化机械有限公司	当前权利人	深圳市金海来自动化机械有限公司
发明人	朱未来
代理机构	北京超凡志成知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	逯恒

摘要

本实用新型提供一种对位装置及对位平台，涉及精密对位设备技术领域，该对位装置包括：位移台、电机座、底板、固定顶板、固定底板、固定立板、第一连接板、第二连接板、第三连接板、第一安装座、第二安装座、第三安装座、第一电机、第二电机、第三电机、第一导轨、第二导轨、第三导轨、第一丝杆、第二丝杆和第三丝杆；使用所述对位装置可准确控制各个方向的精确位置，XY轴电机安装在同一层零件上，结构紧凑，节约空间，并且使用伺服电机驱动，每个伺服电机独立控制，简化了算法和程序，在保证了驱动力和精度的情况下，使整个装置的体积减小，效率提高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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