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一种复合型波带片光子筛

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201010247543.5
  • IPC分类号:G02B5/18
  • 申请日期:
    2010-08-06
  • 申请人:
    中国科学院微电子研究所
著录项信息
专利名称一种复合型波带片光子筛
申请号CN201010247543.5申请日期2010-08-06
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2012-03-14公开/公告号CN102375169A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B5/18IPC分类号G;0;2;B;5;/;1;8查看分类表>
申请人中国科学院微电子研究所申请人地址
北京市朝阳区北土城西路3号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院微电子研究所当前权利人中国科学院微电子研究所
发明人谢常青;潘一鸣;朱效立;贾佳;刘明
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人周国城
摘要
本发明公开了一种复合型波带片光子筛,包括透光衬底和镀在其上的不透光的金属薄膜,所述不透光的金属薄膜上分布有一系列透光环带和若干透光小孔。其中,透光平面可以为熔融石英、普通玻璃、有机玻璃等透光材料,不透光薄膜为透光衬底上制备的一层铬、金、铝、铜等金属挡光层,透光环带和透光小孔所在的位置没有金属挡光层。相对于菲涅尔波带片,本发明提供的复合型波带片光子筛可以提高数值孔径,提高成像分辨率。随机分布的透光小孔之间可以形成干涉,从而能够有效的抑制光轴方向的旁瓣效应和高阶衍射;相对于普通光子筛,本发明提供的复合型波带片光子筛能够有效提高衍射效率,从而提高成像对比度。

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