微波等离子处理装置

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专利名称	微波等离子处理装置
申请号	CN200910202907.5	申请日期	2009-05-18
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2009-12-09	公开/公告号	CN101599408
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2;;;H;0;5;H;1;/;4;6;;;H;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	东京毅力科创株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东京毅力科创株式会社	当前权利人	东京毅力科创株式会社
发明人	西本伸也;坂田一成
代理机构	北京林达刘知识产权代理事务所	代理人	刘新宇;张会华

摘要

本发明提供一种微波等离子处理装置。防止构成微波等离子处理装置的微波天线的缝隙板的热变形，抑制作为目标的微波的传播的变动，提高上述装置的稳定性及可靠性，并且也提高上述微波天线的冷却效率。在构成微波等离子处理装置的微波天线中，利用一对金属体从上下夹持缝隙板的端部地进行支承及固定。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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