排气管道自动清洁装置及涂胶显影机台

发明专利有效专利

申请号：
CN201210061096.3
IPC分类号：B08B9/032;G03F7/16
申请日期：
2012-03-09
申请人：
上海宏力半导体制造有限公司

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专利名称	排气管道自动清洁装置及涂胶显影机台
申请号	CN201210061096.3	申请日期	2012-03-09
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-07-25	公开/公告号	CN102601084A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B9/032 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B9/00 用专门的方法或设备清洁空心物品（B08B 3/12，B08B 6/00优先）〔2〕 B08B9/02 清洁管道、管子、管子系统或管道系统（用化学方法清洁金属管的装置入C23G 3/04）〔5〕 B08B9/027 清洁内表面；去除堵塞物〔7〕 B08B9/032 靠运动流体的机械作用，例如，靠冲洗（B08B 9/04优先）〔7〕	IPC分类号	B;0;8;B;9;/;0;3;2;;;G;0;3;F;7;/;1;6查看分类表>
申请人	上海宏力半导体制造有限公司	申请人地址	上海市张江高科技园区祖冲之路1399号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海华虹宏力半导体制造有限公司	当前权利人	上海华虹宏力半导体制造有限公司
发明人	凌意明;周孟兴;江瑞星;王逸尔
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	郑玮

摘要

本发明涉及半导体光刻领域，提供了一种排气管道自动清洁装置，其设置于涂胶显影机台的排气管道，所述排气管道是由第一管和第二管连接组成的弯管，第一管与涂胶显影机台的涂胶腔室连通，排气管道自动清洁装置包括外接清洗溶剂源的喷嘴和排液管，喷嘴设置于所述第一管的内壁，排液管连接于所述第一管的下方并与所述第一管连通。本发明还提供了一种涂胶显影机台，包括设于涂胶腔室内的晶圆承载台以及与所述涂胶腔室连通的排气管道，排气管道上设有如上所述的排气管道自动清洁装置。通过喷嘴可以向排气管道的容易积累光阻粉尘颗粒的第一管喷洒清洗溶剂，达到在不拆洗排气管道的前提下及时清洗累积在排气管道内壁上的光阻粉尘颗粒的目的。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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